آموزش سیستم‌های میکروالکترومکانیکی (MEMS) - آخرین آپدیت

شروع یادگیری! Get Started!

• معرفی مدرس و سرفصل‌های دوره Introduction to Instructor and Course Outline

مقدمه‌ای بر MEMS و خواص مواد Introduction to MEMS and Material Properties

• معرفی تیم: امکانات آزمایشگاه و هایلایت‌های پژوهشی Meet the Team: Lab Facilities & Research Highlights

• مروری بر فناوری MEMS Overview of MEMS Technology

• مروری بر MEMS: مفهوم میکرومشینینگ Overview of MEMS: Concept of Micromachining

• مواد مورد استفاده در MEMS Materials for MEMS

• مقدمه‌ای بر اتاق تمیز (Cleanroom) Introduction to Cleanroom

تکنیک‌های ساخت سنسور MEMS: اکسیداسیون و لایه‌نشانی فیزیکی بخار MEMS Sensor Fabrication Techniques - Oxidation & Physical Vapour Deposition

• تکنیک لایه‌نشانی فیزیکی بخار: تبخیر با پرتو الکترونی (E-Beam) Physical Vapour Deposition Technique: E-Beam Evaporation

• تکنیک لایه‌نشانی فیزیکی بخار: تبخیر حرارتی Physical Vapour Deposition Technique: Thermal Evaporation

• محاسبات اکسیداسیون حرارتی Thermal Oxidation Numericals

• آزمایشگاه: آماده‌سازی ابزار تبخیر پرتو الکترونی Lab: E-Beam Evaporation Tool Preparation

• آزمایشگاه: نمایش عملی تبخیر پرتو الکترونی Lab: E-Beam Evaporation Demonstration

• آزمایشگاه: لایه‌نشانی حرارتی Lab: Thermal Deposition

تکنیک‌های ساخت سنسور MEMS: تکنیک‌های لایه‌نشانی فیزیکی و شیمیایی بخار MEMS Sensor Fabrication Techniques - Physical and Chemical Vapour Deposition Techniques

• تکنیک لایه‌نشانی فیزیکی بخار: اسپاترینگ (Sputtering) Physical Vapour Deposition Technique: Sputtering

• لایه‌نشانی شیمیایی بخار - بخش اول Chemical Vapour Deposition - Part 1

• لایه‌نشانی شیمیایی بخار - بخش دوم Chemical Vapour Deposition - Part 2

• آزمایشگاه: اسپاترینگ Lab: Sputtering

تکنیک‌های ساخت سنسور MEMS: لیتوگرافی MEMS Sensor Fabrication Techniques – Lithography

• فتولیتوگرافی چیست؟ What is Photolithography?

• مبانی فتولیتوگرافی Basics of Photolithography

• فتوماسک و انتقال الگو Photomask and Pattern Transfer

• انواع فتولیتوگرافی Types of Photolithography

• محاسبات لیتوگرافی Lithography Numericals

• آزمایشگاه: فتولیتوگرافی Lab: Photolithography

تکنیک‌های ساخت سنسور MEMS: میکرومشینینگ MEMS Sensor Fabrication Techniques – Micromachining

• سنسور VOC بر پایه میکرومشینینگ Micromachining Based VOC Sensor

• میکرومشینینگ توده‌ای (Bulk) Bulk Micromachining

• میکرومشینینگ سطحی (Surface) Surface Micromachining

• اتشینگ خشک (Dry Etching) Dry Etching

• اندیس‌های میلر Miller Indices

• آزمایشگاه: اتشینگ تر (Wet Etching) Lab: Wet Etching

سنسورها و تکنیک‌های رابط‌سازی Sensors & Interfacing Techniques​

• پرینت سه‌بعدی 3D Printing

• طراحی PCB: مقدمه‌ای بر Altium Designer PCB Design - Introduction to Altium Designer

• ادامه طراحی PCB PCB Design - Continued

• سنسورهای راداری Radar Sensors

• پروتکل‌های ارتباطی سنسور Sensor Communication Protocols

• مبانی رابط‌سازی سنسور Basics of Sensor Interfacing

• مطالعه موردی رابط‌سازی سنسور Sensor Interfacing Case Study

• کدگذاری خروجی سنسور Sensor Output Encoding

مشخصه‌یابی و کاربردهای سنسورهای MEMS Characterization & Applications of MEMS Sensors

• مقدمه‌ای بر مشخصه‌یابی مواد: طیف‌سنجی مادون قرمز (IR) Introduction to Material Characterization - IR Spectroscopy

• مشخصه‌یابی مواد: طیف‌سنجی مرئی-فرابنفش (UV-Vis) Material Characterization - UV-Visible Spectroscopy

• مشخصه‌یابی مواد: پراش پرتو ایکس و فلورسانس پرتو ایکس Material Characterization - X-ray Diffraction and X-ray Fluorescence

• سنسورهای مبتنی بر MEMS MEMS Based Sensor

• کاربردهای MEMS Applications of MEMS

• آزمایشگاه: اتصال سیمی (Wire Bonding) Lab: Wire Bonding