آموزش مقدمه ای بر تکنیک های ساخت میکرو و نانو

سرفصل ها و درس ها

معرفی Introduction

• مقدمه - نمای کلی دوره Introduction - Course overview

• انگیزه - کاربردهای ساخت میکرو و نانو Motivation - Applications of micro and nano fabrication

• قانون مور - مقیاس بندی آی سی ها Moore's law - Scaling of ICs

• IC Scaling IC Scaling

• مروری بر جریان کامل فرآیند Overview of the complete process flow

• جریان فرآیند میکروساخت Microfabrication process flow

• محیط تمیز Cleanroom environment

• محیط تمیز Cleanroom environment

• مروری بر خواص سیلیکون Overview of Silicon properties

تکنیک های الگوسازی - لیتوگرافی Patterning techniques - Lithography

• فتولیتوگرافی Photolithography

• لیتوگرافی Lithography

• تکنیک های افزایش وضوح (RETs) Resolution enhancement techniques (RETs)

• لیتوگرافی UV شدید Extreme UV lithography

• EUV EUV

اکسیداسیون Oxidation

• اکسید حرارتی Thermal oxide

• رسوب اکسید Oxide deposition

• اکسیداسیون Oxidation

دوپینگ Doping

• انتشار Diffusion

• کاشت یون Ion implantation

• آزمون دوپینگ Doping quiz

حکاکی کردن Etching

• حکاکی مرطوب Wet etching

• حکاکی خشک Dry etching

• مسابقه اچینگ Etching quiz

تکنیک های رسوب گذاری Deposition techniques

• رسوب بخار شیمیایی (CVD) Chemical vapor deposition (CVD)

• رسوب لایه اتمی (ALD) Atomic layer deposition (ALD)

• آزمون CVD CVD quiz

• کندوپاش کردن Sputtering

• مسابقه کندوپاش Sputtering quiz

• تبخیر حرارتی Thermal evaporation

• مزایا و معایب تکنیک های مختلف رسوب گذاری Pros and Cons of different deposition techniques

• رشد اپیتاکسیال Epitaxial growth

متالیزاسیون Metallization

• متالیزاسیون Metallization

• پرداخت مکانیکی شیمیایی (CMP) Chemical Mechanical Polishing (CMP)

• مسابقه متالیزاسیون Metallization quiz

یکپارچه سازی فرآیند Process integration

• یکپارچه سازی فرآیند آی سی IC Process Integration

• شبیه سازی جریان فرآیند - TCAD از خلاصه Simulation of Process flow - TCAD from Synopsis