آموزش میکروفبریکاسیون و نانوفبریکاسیون (MEMS) - آخرین آپدیت

هفته اول: معرفی MEMS و اتاق پاک Week 1: MEMS and cleanroom introduction

• تیزر Teaser

• محصولات موفق MEMS: شتاب‌سنج Successful MEMS products: accelerometer

• محصولات موفق MEMS: میکروفون Successful MEMS products: microphone

• محصولات موفق MEMS: BAW Successful MEMS products: BAW

• مطالعه موردی: میکرو-اکچویتور ترمومکانیکی Case study: thermo-mechanical micro-actuator

• اصول اتاق پاک: معرفی مسئله آلودگی Cleanroom basics: introducing the issue of contamination

• اصول اتاق پاک: استراتژی اتاق پاک Cleanroom basics: cleanroom strategy

هفته دوم: رسوب شیمیایی بخار (CVD) Week 2: Chemical vapor deposition (CVD)

• اصول پایه CVD و رآکتورهای CVD Basic principles of CVD and CVD reactors

• تکنیک‌های CVD در فشارهای عملیاتی مختلف، CVD تقویت‌شده با پلاسما و CVD متال-ارگانیک CVD techniques at different operating pressure, plasma-enhanced CVD and metal-organic CVD

• رسوب لایه اتمی (ALD) و اکسیداسیون حرارتی سیلیسیم Atomic layer CVD (ALD) and thermal oxidation of silicon

• مفاهیم تئوری جریان گاز در رآکتورهای CVD Theoretical concepts of gas flow in CVD reactors

• مدل رشد لایه نازک در CVD CVD thin film growth model

• فرآیندهای خاص CVD برای مواد مبتنی بر سیلیسیم و الماس Specific CVD processes for silicon-based materials and diamond

• فرآیندهای اکسیداسیون حرارتی سیلیسیم و رسوب ALD اکسیدها و فلزات خاص Thermal oxidation processes of silicon and ALD deposition of specific oxides and metals

هفته سوم: رسوب فیزیکی بخار (PVD) Week 3: Physical vapor deposition (PVD)

• تبخیر حرارتی: معرفی و ایجاد بخار Thermal evaporation: introduction and vapor creation

• تبخیر حرارتی: تشکیل لایه و نمونه‌ها Thermal evaporation: film formation and examples

• تبخیر حرارتی در CMi Thermal evaporation in CMi

• اسپاترینگ: معرفی و تشکیل پلاسما Sputtering: introduction and plasma formation

• اسپاترینگ: مناطق مکانی و قانون پاسشن Sputtering: spatial zones and Paschen law

• اسپاترینگ: DC، RF و مگنترون Sputtering: DC, RF, magnetron

• اسپاترینگ: برهم‌کنش‌های یون و هدف Sputtering: ion target interactions

• اسپاترینگ: رشد لایه و پارامترهای کنترلی Sputtering: film growth and control parameters

• اسپاترینگ: نمونه‌ها Sputtering: examples

• اسپاترینگ در CMi Sputtering in CMi

• ضمیمه-سایر تکنیک‌ها: آبکاری یونی، MBE، PLD و غیره SUPPLEMENTARY Other techniques: ion plating, MBE, PLD, …

• رشد لایه: ورود اتم‌ها و چسبندگی Film growth: atoms arrival and adhesion

• رشد لایه: تنش در لایه‌های نازک Film growth: stress in thin films

• ضمیمه-رشد لایه: حالت‌های رشد و ساختار کریستالی SUPPLEMENTARY Film growth: growth modes and crystal structure

هفته چهارم: لیتوگرافی Week 4: Lithography

• مقدمه‌ای بر لیتوگرافی Introduction to lithography

• خواص رزین (Resist) و روش‌های نوردهی Resist properties and exposure methods

• ضمیمه-حساسیت فوتورزیست و تابع انتقال مدولاسیون SUPPLEMENTARY Photoresist sensitivity and modulation transfer function

• لیتوگرافی UV: نوشتن مستقیم و نوشتن ماسک UV lithography: direct writing and mask writing

• لیتوگرافی UV در CMi: ساخت ماسک UV lithography in CMi: mask fabrication

• لیتوگرافی UV: لیتوگرافی مبتنی بر ماسک UV lithography: mask based lithography

• لیتوگرافی UV در CMi: لیتوگرافی مبتنی بر ماسک UV lithography in CMi: mask based lithography

• لیتوگرافی پرتوی الکترونی: بررسی کلی ابزار Electron beam lithography: tool overview

• لیتوگرافی پرتوی الکترونی: اپتیک الکترونی و انحراف پرتو Electron beam lithography: electron optics and beam deflection

• ضمیمه-لیتوگرافی پرتوی الکترونی: بررسی کلی ابزار ۲ SUPPLEMENTARY Electron beam lithography: tool overview II

• ضمیمه-لیتوگرافی پرتوی الکترونی: آماده‌سازی طراحی و شکست SUPPLEMENTARY Electron beam lithography: design preparation and fracture

• لیتوگرافی پرتوی الکترونی: برهم‌کنش‌های الکترون و نمونه Electron beam lithography: electron-sample interactions

• لیتوگرافی پرتوی الکترونی: رزین‌ها Electron beam lithography: resists

• ضمیمه-لیتوگرافی پرتوی الکترونی: اثر مجاورتی (Proximity Effect) SUPPLEMENTARY Electron beam lithography: proximity effect

• روش‌های جایگزین الگودهی: لیتوگرافی پروب روبشی Alternative patterning methods: scanning probe lithography

• ضمیمه-روش‌های جایگزین الگودهی: روش‌های تکثیر SUPPLEMENTARY Alternative patterning methods: replication methods

هفته پنجم: اچینگ خشک (DE) Week 5: Dry etching (DE)

• اچینگ خشک در پلاسما گاز؛ ناهمسانگردی اچینگ Dry etching in a gas plasma; etching anisotropy

• اچینگ خشک عمیق سیلیسیم؛ اچینگ خشک بدون پلاسما Deep dry etching of silicon; dry etching without a plasma

• مفاهیم تئوری تولید پلاسما Theoretical concepts of plasma generation

• انواع تجهیزات اچینگ خشک و منابع پلاسما Types of dry etching equipment and plasma sources

• اچینگ پرتوی یونی Ion beam etching

• نمونه‌هایی از فرآیندهای اچینگ برای مواد مبتنی بر سیلیسیم Examples of etching processes for Si-based materials

• نمونه‌هایی از فرآیندهای اچینگ برای لایه‌های ارگانیک و فلزات Examples of etching processes for organic films and metals

هفته ششم: اچینگ تر (WE) Week 6: Wet etching (WE)

• اچینگ تر ناهمسانگرد و همسانگرد سیلیسیم و کاربردهای آن Anisotropic and isotropic wet etching of Si and applications

• حمام HF برای اچینگ تر SiO2 و شیشه HF bath for SiO2 and glass wet etching

• اچینگ تر همسانگرد سیلیسیم در حمام HNA Isotropic wet etching of silicon in the HNA bath

• اچینگ تر ناهمسانگرد سیلیسیم در حمام‌های قلیایی Anisotropic wet etching of silicon in alkaline baths

• تکنیک‌های توقف اچینگ برای ساخت میکروفبریکاسیون غشای نازک و ماشین‌کاری توده‌ای Etch stop techniques for thin membrane microfabrication and bulk micromachining

• خشک کردن فوق‌بحرانی برای تحقق ساختارهای معلق؛ میکروساختارهای تست برای تعیین مقدار تنش در لایه‌های نازک Supercritical drying for realization of suspended structures; test microstructures for quantifying stress in thin layers

هفته هفتم: بازرسی و مترولوژی Week 7: Inspection and Metrology

• میکروسکوپی نوری: بازرسی و اندازه‌گیری ابعاد Optical microscopy: inspection and dimension measurement

• اندازه‌گیری نوری ضخامت لایه نازک Optical thin film thickness measurement

• اندازه‌گیری نوری پروفیل سطح Optical surface profile measurement

• اندازه‌گیری مکانیکی پروفیل سطح Mechanical surface profile measurement

• میکروسکوپی الکترونی روبشی (SEM) Scanning electron microscopy

• پرتوی یونی متمرکز: بازرسی و اندازه‌گیری مقطع عرضی محلی Focused ion beam: local cross sectional inspection and measurement

• مشخصه‌یابی الکتریکی Electrical characterization

یادداشت پایانی Goodbye note